Обзор
Микроструктура поверхности – одна важнейших характеристик, определяющих функциональные свойства изделий. Прибор для бесконтактных измерений микроструктуры поверхности - Talysurf CCI применяется для бесконтактного измерения широкого круга поверхностей – от «сверхгладких», с высотами неровностей на уровне ангстрема, до поверхностей после стандартных видов обработки (высоты неровностей профиля до 400 мкм). Соответственно область применения приборов довольно широка, и прибор может быть сконфигурирован в зависимости от поставленной задачи.
Особенности прибора
- Быстрые, бесконтактные измерения
- Высокое разрешение по вертикали
- 1,000,000 точек данных и более
- 0.4мкм разрешение по горизонтали
- Великолепная воспроизводимость и точность
- Простое в использование программного обеспечения
- Быстрый процесс калибровки
- 2-х и 3-х размерное представление профиля поверхностей
- Большой диапазон специальных приложений
Безупречная оптическая интерферометрия
- Вертикальный диапазон 2,2 мм при использовании сканера по оси Z с замкнутым циклом, без пьезоэлемента.
- Разрешение 0,1 ангстрема на всем диапазоне измерений.
- Массив до 2048×2048 пикселей, обеспечивающий широкое поле обзора с высоким разрешением.
- Применим к поверхностям с отражательной способностью от 0,3% до 100%.
Практически полное отсутствие погрешностей измерения
- Повторяемость (СКО) <0,2 ангстрема, повторяемость измерения высоты ступеньки <0,1%
- оптимизированная для FEA механическая конструкция с отличной повторяемостью и воспроизводимостью.
- Калибровка системы по стандартам ISO, гарантирующая достоверность результатов.
- Функции автоматической настройки, обеспечивающие невозможную при ручной настройке стабильность.
Оптический анализ поверхностей
- Автоматическое распознавание поверхности
- Автоматическая настройка диапазона
- Универсальная методика измерения
Многообразие областей применения
Профилометр модели CCI, созданный с учетом опыта исследователей и ученых, соответствует самым жестким требованиям к измерению, в том числе и в таких быстро развивающихся отраслях, как солнечная энергетика, оптика и медтехника. В сочетании с мощным ПО для анализа размеров и шероховатости он представляет собой идеальный контрольный инструмент практически для любой области применения.
Многие пользователи обращаются к прибору Talysurf CCI для решения проблем измерения, с которыми просто не могут справиться другие приборы. В то же время при своем исключительном диапазоне, разрешении и простоте в эксплуатации данный профилометр идеально подходит для исследований и контроля качества обработки мамых различных деталей из различных материалов.
- Толщина тонкой пленки
- Толщина толстой пленки
- Солнечные элементы 1-го поколения
- Солнечные элементы 2-го поколения
- СИД
- MEMS
- Шероховатость пластины
- Исследование материалов
- Хранилища данных
- Покрытие коленвала
- Полированная оптика
- Текстурированная сталь
- Алмазное точение
- Медицинские имплантаты
- Автомобильные инжекторы
- Толщина слоя смазки
- Шероховатость подшипника
- Бумага/тонер
Измерение сферы
Погрешность формы
Измерение микро электромеханических систем
Текстурированная сталь
Поверхности после алмазного точения
Измерение DVD линз
Новые мощные программные функции
Управляющее ПО
Теперь, когда появились 64-разрядные процессоры, управляющее программное обеспечение CCI стало более гибким, быстрым и эффективным в целом. Поддержка всех основных платформ дает возможность совместно вести исследовательские проекты и разрабатывать усовершенствованные приложения.
Программа анализа профиля поверхности Talymap
Исследовательские лаборатории, заводы и университеты всего мира предпочитают использовать для анализа поверхностей программу Talymap.
Она применяется для разработки продукции, совершенствования процессов обработки, предикативного анализа поведения и плановых проверок во многих секторах экономики.
Группа специалистов по метрологии, разработке программного обеспечения постоянно совершенствует TalyMap в соответствии с текущими и будущими потребностями метрологии поверхностей.
Программное обеспечение TalyMap нового поколения полностью соответствует недавно разработанному 3D-стандарту ISO 25178 и гарантирует единство измерений и оценки. В числе новых функций анализа – четырехмерный анализ эволюции трехмерных изображений с изменением времени, давления и других физических параметров.
Помимо функции создания фотореалистичных полноцветных изображений в программе TalyMap имеются средства повышения производительности (например, шаблоны повторяющихся задач и возможность автоматически генерировать отчеты по пакетам данных измерений).
Программные модули и параметры анализа:
2-мерные параметры | |
Основные (без фильтрации) | Pa, Pc, Pdc, Pdq, PHSC*,PHtp, Pku, Plo, Plq, Pmr*, Pp, PPc*, Pq, Prms, Psk, PSm,Pt, Ptp, Pv, Py, Pz, Pz(JIS), P3z, Pfd, Pda, Pla, PH, PD, PS,Pvo |
Волнистость (с фильтрацией) | Wa, Wc, Wdc*, Wdq,WHSC*, WHtp, Wku, Wlo, Wlq, Wmr*, Wp, WPc*, Wq,Wrms, Wsk, WSm, Wt, Wtm, Wtp, Wv, Wy, Wz, Wz(JIS),W3z, Wda, Wla, Wmax, WH, WD, WS, Wvo |
Шероховатость (с фильтрацией) | Ra, Rc, Rdc*, Rdq,RHSC*, RHtp, Rku, Rlo, Rlq, Rmr*, Rp, RPc*, Rq, Rrms,Rsk, RSm, Rt, Rtm, Rtp, Rv, Ry, Rz, Rz(JIS), R3z, Rfd, Rda,Rla, Rmax, RH, RD, RS, Rvo |
Rk (DIN 4776, ISO 13565-2) | A1, A2, Mr1, Mr2, Rk, Rpk, Rvk, Rpk*, Rvk* |
R&W (ISO 12085) | AR, AW, HTrc, Pt, R, Rke, Rpke, Rvke, Rx, Trc, W, Wte, Wx,Kr, Nr, SR, SAR, Kw, Nw, SW, SAW |
Прямолинейность (ISO 12780) | STRt, STRp, STRv, STRq |
3-мерные параметры | |
Амплитуда | Sa, Sq, Sp, Sv, St, Ssk, Sku, Sz |
Площадь и объем | Stp, SHtp, Smmr, Smvr, Smr, Sdc |
Функциональные | Sk, Spk, Svk, Sr1, Sr2, Sbi, Sci, Svi, Sm, Vv, Vm, Vmp,Vmc, Vvc, Vvv |
Ровность | FLt, FLTp, FLTs, FLTq, FLTv |
Гибридные и пространственные | Sdq, Ssc, Sdr Spc, Sds, Str, Sal, Std, Sfd |
Анализ данных | Высота ступеньки, расстояние по горизонтали, уголнаклона, размер угла, количество вершин, интерактивная кривая Эббота-Файрстоуна, объем островов, автокорелляция, фрактальный анализ, анализ рисунка, анализ частоты, исправление данных |
Фильтры | Гауссов, надежный гауссов, сплайн, импульсный, надежный импульсный и морфологический |
Дополнительные модули | Crown, Cross-crown & Twist, Laser Zone Texture, AdvancedProfile PSD, Advanced Data Stitching |
Объективы CCI
Для системы Talysurf CCI существуют самые разные объективы. Выбор зависит от области применения. Ключевые параметры:
- Поле обзора: определяетобласть измерения.
- Оптическое разрешение: определяет наименьший размер различаемых объектов.
- Уклон: важен для изогнутых и шероховатых поверхностей. Чем больше шероховатость поверхности, тем больше углы наклона.
Спецификации и параметры
Система
Тип измерения | 3-мерное бесконтактное (4 или 1 миллион точек данных) |
Режим измерения | Когерентный корреляционный интерферометр |
Z-сканер | Сканер высокой точности, с замкнутым циклом, без пьезоэлемента |
Поле обзора | До 6,6×6,6 мм (в зависимости от объектива) |
Освещение | Источник дневного света, светодиод |
Крепление объектива | Трехпозиционная турель |
Массив измерений | CCI HD 2048 x 2048 CCI Lite 1024х1024 |
Анализ |
Программное обеспечение
|
Основные характеристики
Вертикальный диапазон (Z) | 2,2 мм (>50 мм с Z-«сшивкой») |
Вертикальное разрешение [макс] | 0,01 нм [0,1 Å] |
Уровень шума (Z) | CCI HD<0,02 нм [0,2 Å]CCI Lite <0,08нм [0,8 Å]1 |
Повторяемость RMS (Z) | <0,02 нм [0,2 Å]2 |
Макс. область измерения (X,Y) | 6,6 мм (>100 мм c X,Y «сшивкой») |
Количество точек измерения | CCI HD 2048×2048 CCI Lite 1024×1024 |
Оптическое разрешение (X,Y) | 0,3-0,6 мкм (со 100-кратным объективом) |
Повторяемость высоты ступеньки | <0.1% |
Отражающая способность поверхности | <0.3% - 100% |
Рабочий стол
Размер компонента (макс) | X и Y = 150 мм; Z = 100 мм |
Вес компонента (макс) | 10 кг |
Стол X-Y моторизованный (средний) | 112 × 75 мм |
Стол X-Y моторизованный (большой) | 150 × 150 мм |
Стол наклоняемый ручной | ± 4 градуса |
Размеры системы
Полный размер системы (площадь основания) | 530 мм в ширину; 530 мм в глубину; 850 мм в высоту |
Температура (хранение) | 10 – 50°C |
Температура (эксплуатация) | 15 – 30°C |
Изменение температуры | < 1°C / час (для оптимизации измерения) |
Влажность | < 70 % без конденсации |
Вибрация | Защита от вибрации в стандартной комплектации |
1 По результатам нескольких измерений на образцовой пластинке из кварца
2 Согласно стандартному отклонению на 1 сигма в 20 Sq (RMS) измерениях на пластине SiC
← Назад в раздел