Талисурф CCI

Обзор

Талисурф CCI

Микроструктура поверхности – одна важнейших характеристик, определяющих функциональные свойства изделий. Прибор для бесконтактных измерений микроструктуры поверхности - Talysurf CCI применяется для бесконтактного измерения широкого круга поверхностей – от «сверхгладких», с высотами неровностей на уровне ангстрема, до поверхностей после стандартных видов обработки (высоты неровностей профиля до 400 мкм). Соответственно область применения приборов довольно широка, и прибор может быть сконфигурирован в зависимости от поставленной задачи.

Особенности прибора

  • Быстрые, бесконтактные измерения
  • Высокое разрешение по вертикали
  • 1,000,000 точек данных и более
  • 0.4мкм разрешение по горизонтали
  • Великолепная воспроизводимость и точность
  • Простое в использование программного обеспечения
  • Быстрый процесс калибровки
  • 2-х и 3-х размерное представление профиля поверхностей
  • Большой диапазон специальных приложений

Безупречная оптическая интерферометрия

  • Вертикальный диапазон 2,2 мм при использовании сканера по оси Z с замкнутым циклом, без пьезоэлемента.
  • Разрешение 0,1 ангстрема на всем диапазоне измерений.
  • Массив до 2048×2048 пикселей, обеспечивающий широкое поле обзора с высоким разрешением.
  • Применим к поверхностям с отражательной способностью от 0,3% до 100%.

Практически полное отсутствие погрешностей измерения

  • Повторяемость (СКО) <0,2 ангстрема, повторяемость измерения высоты ступеньки <0,1%
  • оптимизированная для FEA механическая конструкция с отличной повторяемостью и воспроизводимостью.
  • Калибровка системы по стандартам ISO, гарантирующая достоверность результатов.
  • Функции автоматической настройки, обеспечивающие невозможную при ручной настройке стабильность.

Оптический анализ поверхностей

  • Автоматическое распознавание поверхности
  • Автоматическая настройка диапазона
  • Универсальная методика измерения

Многообразие областей применения

Профилометр модели CCI, созданный с учетом опыта исследователей и ученых, соответствует самым жестким требованиям к измерению, в том числе и в таких быстро развивающихся отраслях, как солнечная энергетика, оптика и медтехника. В сочетании с мощным ПО для анализа размеров и шероховатости он представляет собой идеальный контрольный инструмент практически для любой области применения.

Многие пользователи обращаются к прибору Talysurf CCI для решения проблем измерения, с которыми просто не могут справиться другие приборы. В то же время при своем исключительном диапазоне, разрешении и простоте в эксплуатации данный профилометр идеально подходит для исследований и контроля качества обработки мамых различных деталей из различных материалов.

  • Толщина тонкой пленки
  • Толщина толстой пленки
  • Солнечные элементы 1-го поколения
  • Солнечные элементы 2-го поколения
  • СИД
  • MEMS
  • Шероховатость пластины
  • Исследование материалов
  • Хранилища данных
  • Покрытие коленвала
  • Полированная оптика
  • Текстурированная сталь
  • Алмазное точение
  • Медицинские имплантаты
  • Автомобильные инжекторы
  • Толщина слоя смазки
  • Шероховатость подшипника
  • Бумага/тонер

Измерение сферы

Погрешность формы

Измерение микро электромеханических систем

Текстурированная сталь

Поверхности после алмазного точения

Измерение DVD линз

Новые мощные программные функции

Управляющее ПО

Теперь, когда появились 64-разрядные процессоры, управляющее программное обеспечение CCI стало более гибким, быстрым и эффективным в целом. Поддержка всех основных платформ дает возможность совместно вести исследовательские проекты и разрабатывать усовершенствованные приложения.

Программа анализа профиля поверхности Talymap

Исследовательские лаборатории, заводы и университеты всего мира предпочитают использовать для анализа поверхностей программу Talymap.

Она применяется для разработки продукции, совершенствования процессов обработки, предикативного анализа поведения и плановых проверок во многих секторах экономики.

Группа специалистов по метрологии, разработке программного обеспечения постоянно совершенствует TalyMap в соответствии с текущими и будущими потребностями метрологии поверхностей.

Программное обеспечение TalyMap нового поколения полностью соответствует недавно разработанному 3D-стандарту ISO 25178 и гарантирует единство измерений и оценки. В числе новых функций анализа – четырехмерный анализ эволюции трехмерных изображений с изменением времени, давления и других физических параметров.

Помимо функции создания фотореалистичных полноцветных изображений в программе TalyMap имеются средства повышения производительности (например, шаблоны повторяющихся задач и возможность автоматически генерировать отчеты по пакетам данных измерений).

Программные модули и параметры анализа:

2-мерные параметры
Основные (без фильтрации) Pa, Pc, Pdc, Pdq, PHSC*,PHtp, Pku, Plo, Plq, Pmr*, Pp, PPc*, Pq, Prms, Psk, PSm,Pt, Ptp, Pv, Py, Pz, Pz(JIS), P3z, Pfd, Pda, Pla, PH, PD, PS,Pvo
Волнистость (с фильтрацией) Wa, Wc, Wdc*, Wdq,WHSC*, WHtp, Wku, Wlo, Wlq, Wmr*, Wp, WPc*, Wq,Wrms, Wsk, WSm, Wt, Wtm, Wtp, Wv, Wy, Wz, Wz(JIS),W3z, Wda, Wla, Wmax, WH, WD, WS, Wvo
Шероховатость (с фильтрацией) Ra, Rc, Rdc*, Rdq,RHSC*, RHtp, Rku, Rlo, Rlq, Rmr*, Rp, RPc*, Rq, Rrms,Rsk, RSm, Rt, Rtm, Rtp, Rv, Ry, Rz, Rz(JIS), R3z, Rfd, Rda,Rla, Rmax, RH, RD, RS, Rvo
Rk (DIN 4776, ISO 13565-2) A1, A2, Mr1, Mr2, Rk, Rpk, Rvk, Rpk*, Rvk*
R&W (ISO 12085) AR, AW, HTrc, Pt, R, Rke, Rpke, Rvke, Rx, Trc, W, Wte, Wx,Kr, Nr, SR, SAR, Kw, Nw, SW, SAW
Прямолинейность (ISO 12780) STRt, STRp, STRv, STRq
3-мерные параметры
Амплитуда Sa, Sq, Sp, Sv, St, Ssk, Sku, Sz
Площадь и объем Stp, SHtp, Smmr, Smvr, Smr, Sdc
Функциональные Sk, Spk, Svk, Sr1, Sr2, Sbi, Sci, Svi, Sm, Vv, Vm, Vmp,Vmc, Vvc, Vvv
Ровность FLt, FLTp, FLTs, FLTq, FLTv
Гибридные и пространственные Sdq, Ssc, Sdr Spc, Sds, Str, Sal, Std, Sfd
Анализ данных Высота ступеньки, расстояние по горизонтали, уголнаклона, размер угла, количество вершин, интерактивная кривая Эббота-Файрстоуна, объем островов, автокорелляция, фрактальный анализ, анализ рисунка, анализ частоты, исправление данных
Фильтры Гауссов, надежный гауссов, сплайн, импульсный, надежный импульсный и морфологический
Дополнительные модули Crown, Cross-crown & Twist, Laser Zone Texture, AdvancedProfile PSD, Advanced Data Stitching

Объективы CCI

Для системы Talysurf CCI существуют самые разные объективы. Выбор зависит от области применения. Ключевые параметры:

  • Поле обзора: определяетобласть измерения.
  • Оптическое разрешение: определяет наименьший размер различаемых объектов.
  • Уклон: важен для изогнутых и шероховатых поверхностей. Чем больше шероховатость поверхности, тем больше углы наклона.

Спецификации и параметры

Система

Тип измерения 3-мерное бесконтактное (4 или 1 миллион точек данных)
Режим измерения Когерентный корреляционный интерферометр
Z-сканер Сканер высокой точности, с замкнутым циклом, без пьезоэлемента
Поле обзора До 6,6×6,6 мм (в зависимости от объектива)
Освещение Источник дневного света, светодиод
Крепление объектива Трехпозиционная турель
Массив измерений CCI HD 2048 x 2048 CCI Lite 1024х1024
Анализ

Программное обеспечение

  • программа анализа Talymap
  • более 120 2-мерных и 40 3-мерных параметров
  • Автоматический подсчет и сортировка функций
  • Поддержка двух мониторов

Основные характеристики

Вертикальный диапазон (Z) 2,2 мм (>50 мм с Z-«сшивкой»)
Вертикальное разрешение [макс] 0,01 нм [0,1 Å]
Уровень шума (Z) CCI HD<0,02 нм [0,2 Å]CCI Lite <0,08нм [0,8 Å]1
Повторяемость RMS (Z) <0,02 нм [0,2 Å]2
Макс. область измерения (X,Y) 6,6 мм (>100 мм c X,Y «сшивкой»)
Количество точек измерения CCI HD 2048×2048 CCI Lite 1024×1024
Оптическое разрешение (X,Y) 0,3-0,6 мкм (со 100-кратным объективом)
Повторяемость высоты ступеньки <0.1%
Отражающая способность поверхности <0.3% - 100%

Рабочий стол

Размер компонента (макс) X и Y = 150 мм; Z = 100 мм
Вес компонента (макс) 10 кг
Стол X-Y моторизованный (средний) 112 × 75 мм
Стол X-Y моторизованный (большой) 150 × 150 мм
Стол наклоняемый ручной ± 4 градуса

Размеры системы

Полный размер системы (площадь основания) 530 мм в ширину; 530 мм в глубину; 850 мм в высоту
Температура (хранение) 10 – 50°C
Температура (эксплуатация) 15 – 30°C
Изменение температуры < 1°C / час (для оптимизации измерения)
Влажность < 70 % без конденсации
Вибрация Защита от вибрации в стандартной комплектации

1 По результатам нескольких измерений на образцовой пластинке из кварца

2 Согласно стандартному отклонению на 1 сигма в 20 Sq (RMS) измерениях на пластине SiC


← Назад в раздел